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　株式会社安川電機（取締役社長　利島　康司）は、300mmサイズのウエハに対応でき、走行軸なしで広範囲搬送が可能な、半導体ウエハ搬送ロボットMOTOMAN-RC1000Gを開発し、2004年12月１日から販売を開始します。

「MOTOMAN-RC1000G」

　半導体業界では、デザインルール（半導体チップ上の配線間の距離）の微細化による高クリーン対応や生産性向上を目的としたウエハ搬送効率のアップが求められています。またウエハサイズの拡大により大型化する製造装置のコンパクト化も課題となっています。
　
　当社のMOTOMAN-RC1000Gは、多関節アーム機構の採用により広い動作範囲と小さな旋回姿勢を両立させることができます。これにより搬送系での主な発塵原因であり、かつ大きなスペースを必要としていた走行機構レスを実現し、製造装置の高クリーン・コンパクト化を可能にしています。さらにアーム先端には２つのハンド（ウエハを保持する機構）を装備可能で、ウエハ処理前後でのハンド使い分けや、ウエハ交換動作などの搬送パターンに対応でき、搬送効率の向上を可能にしています。

　3FOUP^*1対応のEFEM^*2やソータ^*3、製造装置内のウエハ搬送に適したロボットとなっています。

　なお本製品は、12月１日（水）から３日（金）まで幕張メッセで開催される「セミコンジャパン2004」において、当社出展ブース内で展示実演予定です。