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　株式会社安川電機（取締役社長　利島　康司）は、300mmサイズのウエハに対応し、複数のウエハ搬送キャリア間で、高速かつクリーンにウエハ移載を可能とする新形ウエハソータを開発し、2004年12月１日から販売を開始します。

「新形ウエハソータ」

　半導体製造ラインでは、歩留まり向上や高クリーン環境維持のため、汚染原因の一つである人の関与を最小限にする自動化を進めています。また、システムLSIを始めとする多品種少量生産を効率よく行うため、細やかで柔軟な工程管理が必要になっています。
　
　新形ウエハソータは、人に代わってウエハキャリア内にあるウエハを自由に移載できる装置です。装置内全工程でウエハ外周のみを把持する機構の開発や、ロボット等のクリーン対策強化を行い、300mmウエハ表面でPWP^*1 0.01以下を達成、高クリーン環境下での処理枚数300枚／ｈという業界最高クラスの移載速度を実現しました。また、ウエハキャリア、ウエハ自体のID情報を読み出す機能や、読み出した情報を工場管理ホストコンピュータなどの周辺機器とやり取りする、豊富なインターフェースを付加できます。さらに、入荷時や工場内で使用されるさまざまなウエハキャリアに対応でき、ウエハ入荷を含めた全工程での自動化と、細やかで柔軟な工程管理を支援します。半導体製造ラインの自動化や工程管理の強化に最適な装置となっています。

　なお本製品は、12月１日（水）から３日（金）まで幕張メッセで開催される「セミコンジャパン2004」において、当社出展ブース内に展示実演予定です。