株式会社安川電機（取締役社長　中山　眞）は，短い可動範囲を高速・高精度で駆動する薄形リニアスライダ「Σ－Trac－μシリーズ」を開発し，平成16年１月21日から販売を開始します。

　当社では高性能リニアサーボモータとして標準リニアモータ「Linear Σ」シリーズを製品化し、半導体製造装置、電子部品実装機、液晶市場などの高精度位置決め用途にリニアスライダ^*1「Σ－Tracシリーズ」を製品化し，業界トップの生産量を実現してきました。
　近年電子部品の小形化や微細加工装置への適用などに伴い、機構部分の小形化及び高精度化が要求され、お客様にてリニアモータとガイドを別々に購入し組み合わせた場合には最適な寸法、精度を実現できないなどの問題が出てきています。
　今回，このようなお客様機械装置の一層の小形化，高精度化等のご要求を実現するために，永久磁石可動構造タイプのリニアサーボモータを使用した薄形リニアスライダ「Σ－Trac－μ（マイクロ）」を開発し、「Σ－Tracシリーズ」に追加しました。「Σ－Trac－μシリーズ」は、リニアモータ単体ではなくリニアスライダとしての最適設計を行っていますので、従来装置の革新的な小形化や、従来の機構では装着できなかった小形機械への適用などが実現できます。
　「Σ－Trac－μシリーズ」の製品化により，半導体製造装置、電子部品実装機、液晶市場などに加えて医療、バイオ関連分野など機械装置の一層の小形化、高精度化の要求の高いお客様へのリニアソリューションの提供に努めてまいります。

「Σ－Trac－μシリーズ」

　近年液晶市場の世代革新に伴い製造装置に使用される大形、大推力、長ストロークのリニアサーボモータの市場が急速に拡大しています。当社では標準リニアサーボモータ「Linear Σシリーズ」や、用途専用のリニアスライダ「Σ－Tracシリーズ」を製品化し、ご好評いただいています。
　一方，半導体装置においては、素子集積度の向上による微細モーション制御の要求に伴って小形、高速度かつ高精度なモーションを実現できる高性能リニアスライダの要求が強まってきています。そこで、以下の２つのポイントに重点をおいた薄形リニアスライダ「Σ－Trac－μ（マイクロ）」を開発いたしました。

　１）永久磁石可動構造によるリニアサーボモータの薄形化、高速化。
　２）高分解能リニアスケールシステム、リニアガイドと最適な設計で組み合わせお客様に
　　　納入することにより、小形化、高精度化とプラグ&プレイの実現。

　この薄形リニアスライダと，様々な分野で蓄積した制御ノウハウを組み込んだ高性能サーボドライブ「Σ-IIシリーズ」または「Σ-IIIシリーズ」を組み合わせることによって、お客様の機械装置の小形化、高速化、高精度化に大きく貢献していきます。

　半導体製造装置、電子部品実装機、液晶製造装置に加えて検査装置、医療機器関係の光学系駆動用など。